并且 ， 东方晶源首台关键尺寸量测装备（CD-SEM） ， 去年还获得中芯国际订单 。
对于此事 ， 东方晶源已经正式回应 ， 公司技术完全自主研发 ， 并且处于国内领先水平 。 同时 ， 东方晶源表示一直秉承独立研发、自主创新的理念 ， 尊重、保护知识产权 。

对于ASML在年报中称东方晶源可能侵权 ， 项立刚点出了关键 ， 只是在财报中暗示 ， 说明没有证据 ， ASML不能作为先行者 ， 就认为别的企业不能做 ， 做了就是侵权 。
看到中企的进步 ， ASML才有行径 ， 看来是真的慌了！怪不得 ， 连CEO都对我们突破光刻机改口了 ， 说并不是完全不可能 。 这件事充分说明 ， 我们突破光刻机不远了！

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